ULVAC 爱发科 HR60 真空泵 HR300 真空泵
2025-03-14 18:15:07
admin
ULVAC 爱发科 HR60 真空泵 HR300 真空泵
特点
高温区域均热化
实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
UR系列可比HR系列更加高温化。氦气密封
通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。瞬停对策
采取了1000msec以内瞬停对策。出色的耐腐蚀性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。通信功能
可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。
用途
CVD装置
蚀刻装置
灰化装置
ALD、ALH 等
